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为了增加天线带宽，提高天线机械稳定性，改善天线性能，提出并设计制作了一种工作在35GHz的硅基MEMS渐变式缝隙天线。针对渐变式缝隙天线在毫米波频段介电常数高、衬底极薄、易碎、不易制作等问题，利用ICP深刻蚀工艺在衬底上形成了周期性通孔阵列，从而减小了衬底有效介电常数，增加了衬底厚度，同时利用共面波导槽线对该天线进行馈电。仿真结果表明，该天线带宽为28．2％，增益为8．7dB。采用微机械工艺对该天线进行加工，测得其带宽为13．2％。与传统天线相比，该天线进一步提高了天线衬底的机械稳定性，增加了天线带宽，且