扫描电子显微镜验收

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<正> 扫描电子显微镜验收是一项十分重要的工作。验收中测定的各项技术指标的数据可作为衡量一台电镜性能的重要依据。本文根据我们验收日本日立公司 S—450扫描电镜的经验,并参考了日本电子公司 J_sM—35CF 扫描电镜验收指标,阐述扫描电镜各项指标的测试方法,测试条件,样品选择及精度等项要求。
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