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通过电子显微镜的观察,得到了TiO2表面形貌的分布、大小、形状等,并就影响TiO2薄膜表面形貌的主要因素,如温度、基片种类、退火温度等进行了研究.实验得出:在350～600℃温度制备的薄膜表面粒子分布均匀、大小一致.
影响TiO2薄膜表面形貌的因素
【摘 要】
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通过电子显微镜的观察,得到了TiO2表面形貌的分布、大小、形状等,并就影响TiO2薄膜表面形貌的主要因素,如温度、基片种类、退火温度等进行了研究.实验得出:在350～600℃温度制
【机 构】
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太原理工大学化学工程与技术学院
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2001年4期
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