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本文作者采用KEITHLEY 220型可编程电流源对半导体生产中的关键工艺设备EATON NV6200A进行剂量校准,确保离子注入设备的精确计量.本文对于测试原理及校准过程作了详细论述.目前这一监控手段已用于实际生产,对工艺参数控制有一定的指导意义.
采用外接恒流源对注入机进行剂量校准
【摘 要】
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本文作者采用KEITHLEY 220型可编程电流源对半导体生产中的关键工艺设备EATON NV6200A进行剂量校准,确保离子注入设备的精确计量.本文对于测试原理及校准过程作了详细论述.目
【机 构】
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信息产业部电子第五十八研究所
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
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2002年3期
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