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在分析简振模型的基础上设计了一种硅微谐振器，探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用，利用这种技术成功地制作了硅微谐振器的单晶硅谐振梁。
一种基于表面微机械加工技术的单晶硅微谐振器
【摘 要】
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在分析简振模型的基础上设计了一种硅微谐振器，探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用，利用这种技术成功地制作了硅微谐振器的单晶硅谐振梁。
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系,哈尔滨工业大学测试分析中心
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金(69376028)
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