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本文介绍了一种金属场板结合SIPOS电阻场板的新型终端结构,该终端能实现平面结理想击穿值的80％以上。对这种终端结构的设计,采用了一种简单方法。根据实验结果,对金属场板和SIPOS电阻场板的互补功能进行了详细的分析。
金属场板加SIPOS电阻场板的新型终端技术
【摘 要】
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本文介绍了一种金属场板结合SIPOS电阻场板的新型终端结构,该终端能实现平面结理想击穿值的80％以上。对这种终端结构的设计,采用了一种简单方法。根据实验结果,对金属场板和SI
【机 构】
：
机电部第24研究所,机电部第24研究所重庆永川632167,重庆永川632167,重庆永川632167
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1992年6期
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