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研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80%,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40—100μm。
旋转镀膜铌靶材加工工艺研究
【摘 要】
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研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80%,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40—100μm。
【机 构】
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宁夏东方钽业股份有限公司,
【出 处】
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材料开发与应用
【发表日期】
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2014年06期
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