【摘 要】
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提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法，同时设计了它的闭环反馈伺服电路，分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非 线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的
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提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法，同时设计了它的闭环反馈伺服电路，分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非 线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计，其全量程为±60g，非线性度0．2％，带宽1kHz，灵敏度200mV/g，抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析，提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺－正面释放体硅工艺。
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