摘 要：在现代日新月异科技进步的时代，半导体芯片已经成为人们生活中不可或缺的关键部分，人们的衣食住行都与之息息相关。随着技术的进步，芯片的生产工艺越来越复杂，而在生产过程中，每个工艺流程都要用到许多复杂而精密的设备，这些设备如果出现问题，轻则停机影响整个生产线，重则导致大量工艺问题引发废片和良率低下，损失严重。所以，良好的设备管理，才能保证半导体工厂芯片生产的稳定。文章通过对半导体生产过程中使用到的成膜设备管理方法进行研究，使设备能够更好的为芯片生产而服务。设备管理主要为两方面：①对设备的直接管理，包括设备定期维护，制定准确的维护频度，交换损耗备件，清洗清扫，故障修理和再发防止等；②对设备维护维修人员的管理，包括人才培养，技能培训，人员激励和工作安排等。
　　关键词：设备管理；半导体；科技
　　设备直接管理
　　设备PM管理
　　PM—preventive maintenance，就是定期维护的意思。设备PM 管理就是为了给生产设备的各个部位，各种备件，根据厂家推荐结合工厂生产实际情况，制定出合理合适的定期更换保养频度。
　　设备长期使用，肯定会有部件磨损和恶化，需要及时的交换。如果不定期维护保养，而是等到发生故障，带来的可能是大规模的部件损坏导致无法维修，或者某些备件的永久性损坏，从而造成更大的备件损失和长时间的设备故障，无法及时恢复生产。
　　设备故障管理
　　设备发生故障是正常的情况，但是如何修复故障，并防止同样故障再发，减少故障率和故障时间，则是需要进行管理的。对于设备发生的故障，要进行分析，查找根本原因。同时，故障修理完成后，也要根据实际原因分析为什么会发生这样的故障：是维护保养频度不合理？还是备件质量不合格？是需要定期交换该备件？有了分析和总结，我们才能加深了解设备的特性，设备的问题点，然后不断的改善和提高。
　　备品备件管理
　　设备的维护保养和故障修理，那么自然离不开备品备件。就像汽车做维护保养需要更换机油机滤一样，半导体生产设备也需要更换“它”的机油机滤。半导体生产设备更加的复杂，使用到的零部件成千上万，其中又分为消耗品和非消耗品。半导体生产设备都有详细的图纸，涵盖了所有的备件，并都编号，便于使用者按照编号查询和购买，用于设备的维护保养和维修。根据设备种类不同，这些备件大大小小都在上万件以上，那么哪些是要用到的，哪些是经常需要更换的，哪些是不太更换的，需要使用者与设备生产厂家达成一致，那么，使用者就会根据设备生产厂家的建议在自己的备品库内准备相关的备件，当设备维护保养或者维修需要更换备件时，就可以直接在库房内领用仓库，节省维护保养和维修的时间。
　　设备维护维修人员管理
　　“21世纪最贵的是什么？是人才”这一句电影中的经典台词，被很多地方很多场合引用，在这里，引用到半导体设备管理中，真是再恰当不过。设备维护保养管理、设备故障维修管理、设备备品备件管理，而这些归根结底需要“人”才能将他们联系起来，做到真正有序的管理。在半導体生产工厂中，这个“人”就是设备工程师、设备主管。
　　设备工程师在半导体生产工厂中的地位并不高，却是生产线不可缺少的螺丝钉。设备工程师分为常日班工程师和翻班工程师，前者作为设备的主要负责人，负责前面提到的设备维护保养管理、故障维修管理、备品备件管理等一系列管理工作，而翻班工程师主要是配合常日班工程师进行设备维护保养和修理。
　　由此可知，设备工程师的培养和管理，也成为半导体设备管理一个重要的组成部分。设备工程师是所谓的“高级蓝领”，与几百上千万美金的设备在一起摸爬滚打，是一份非常辛苦的工作。尤其是翻班的设备工程师，除了脑力、体力的付出，还要与时差做斗争。设备工程师的人员流动性是非常大的，所以培养工程师，管理工程师，留住优秀工程师，也成为半导体企业相关部门的一项重要工作，要求企业需要制定良好的激励机制等。
　　结论
　　文章研究了半导体生产中设备的管理方法，里面包含了设备维护保养管理，设备故障管理，备品备件管理和人员的管理。从研究结果可以知道，人在设备管理中占据主导和重要作用，但同时维护保养、故障管理、备品备件管理缺一不可，只有把这些都做好，才称得上良好的设备管理。
　　不同行业所用到的设备是不同的，对设备的管理要求也是不一样的。作为以产能优势获得利润优势的半导体行业来说，设备的连续性生产能力是极其重要的。所以在半导体设备的管理上，主要偏重于保持设备的良好运行状态，尽量减少设备停机时间，这样，对于设备管理的要求非常高，只有人和系统相结合，相辅相成，才能更好的维护好设备，服务于芯片生产。