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在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后,对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析,通过软硬结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究,并且通过实验验证了方法的有效性.
滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究
【摘 要】
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在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后,对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析,通过软硬结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究,并且通过实验验证了
【机 构】
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山东大学
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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2004年7期
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