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利用等离子体化学气相沉积技术在100℃的衬底温度下，制备了具有不同组分比的系列非晶碳化硅薄膜。结合傅里叶变换红外光谱与喇曼光谱对所制备的薄膜微结构进行了表征与分析，同时，对具有不同组分比的非晶碳化硅薄膜室温光致发光性质进行了系统的研究。结果表明在Ar^＋离子激光和Xe灯紫外光的激发下，不同组分的样品显示出不同的光致发光特性，并对样品的发光特性与其微结构的联系进行了讨论。在此基础上，用碳化硅薄膜设计和制备了全固体光学微腔，研究了微腔对碳化硅发光行为的调制作用。