真空测量技术介绍

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【摘要】

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<正> 概述真空测量技术作为真空技术的眼睛在真空技术的发展中起着重要的作用。真空测量历史的发展粗略地可分为如下几个阶段,第一个阶段是1643年的水银压力计,开始高压强和

【作者】

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赵新华

【机构】

：

北京市计量科学研究所100029

【出处】

：

真空电子技术

【发表日期】

：

1992年6期

【关键词】

：

真空测量真空计

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<正> 概述真空测量技术作为真空技术的眼睛在真空技术的发展中起着重要的作用。真空测量历史的发展粗略地可分为如下几个阶段,第一个阶段是1643年的水银压力计,开始高压强和压力差的测量。第二阶段是1874年Mcleod发明的麦氏压缩式真空计,第一次提供了测量低压强的手段。第三个阶段是1906年的Pirani真空计及1916年的电离

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