【摘 要】
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采用微机电系统（MEMS）技术制作了悬臂梁式压电微拾振器，该技术主要包括：sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为：长2000
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院微米、纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室
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采用微机电系统（MEMS）技术制作了悬臂梁式压电微拾振器，该技术主要包括：sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为：长2000μm，宽600μm，硅膜厚度12μm，PZT压电膜厚1．5μm，Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz，适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下，电压输出达562mV。
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