【摘 要】
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目前,异质硅膜作为半导体器件材料已受到大家重视,其中以蓝宝石为衬底的气相外延硅片(SOS)已成功地应用于表面场效应集成电路的生产中。外延膜的质量对电路的性能起着关键作
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目前,异质硅膜作为半导体器件材料已受到大家重视,其中以蓝宝石为衬底的气相外延硅片(SOS)已成功地应用于表面场效应集成电路的生产中。外延膜的质量对电路的性能起着关键作用,因此对薄膜质量的检测与控制,
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