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针对高功率固体激光器中使用的四类重要激光晶体（YAG、LBO、YCOB、KDP）元件，开展了晶体材料的光学加工性能研究。基于纳米压痕测试实验，研究了几种激光晶体材料在激光器实际使用晶向角度下的的表面力学特性差异，获得了载荷、弹性模量、压痕硬度等参数与压痕深度之间的变化规律；利用超景深显微镜及场发射扫描电镜观察了激光晶体表面的纳米压痕形貌，揭示了裂纹形貌随压力载荷的演变规律以及晶体材料力学各向异性现象。以熔石英材料为参照，从力学特性角度横向对比了几种激光晶体材料获得超光滑表面的光学加工难易程度。