【摘 要】
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Integrated gas sensor suspending bridge style micro-structure has been developed on Al_2O_3 new type membrane based on MEMS.CH_4 gas sensing unit and CO gas sen
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Integrated gas sensor suspending bridge style micro-structure has been developed on Al_2O_3 new type membrane based on MEMS.CH_4 gas sensing unit and CO gas sensing unit were fabricated separately on 4 unit array style suspending bridge structure.We have studied on time-sequence modulation form voltage pulse heating method which forms different work temperature conditions
Integrated gas sensor suspending bridge style micro-structure has been developed on Al 2 O 3 new type membrane based on MEMS. CH 4 gas sensing unit and CO gas sensing unit manufactured separately on 4 unit array style suspending bridge structure. We have studied on time-sequence modulation form voltage pulse heating method which forms different work temperature conditions
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