【摘 要】
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当硅烷被脉冲CO_2激光器照射时就淀积出硅膜。当激光调至SiH_4吸收频率上时,有效地导致出这种激光产生的汽相淀积。其效率是那么高,以致1.3MW/cm~2的未聚焦束就足够了。无任
【机 构】
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日本丰桥工业大学电工系,日本丰桥工业大学电工系
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当硅烷被脉冲CO_2激光器照射时就淀积出硅膜。当激光调至SiH_4吸收频率上时,有效地导致出这种激光产生的汽相淀积。其效率是那么高,以致1.3MW/cm~2的未聚焦束就足够了。无任何热效应。在汽压超过100乇以上能有效地产生淀积,这表明包含有一种碰撞附加过程。
A silicon film is deposited when the silane is irradiated by a pulsed CO2 laser. When the laser is tuned to the SiH 4 absorption frequency, this laser-induced vapor deposition is effectively caused. Its efficiency is so high that an unfocused beam of 1.3 MW / cm 2 is sufficient. Without any thermal effect. The deposition is effectively produced at vapor pressures in excess of 100 Torr, indicating the inclusion of an additional collision process.
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