【摘 要】
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近单晶硅密度液体（DSL-2329）广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中，其液体压缩系数准确测量对于单晶硅工质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度，研究了一种基于单晶
【基金项目】
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国家自然科学基金(51105347);质检公益性行业专项(AGY0711)资助项目
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近单晶硅密度液体（DSL-2329）广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中，其液体压缩系数准确测量对于单晶硅工质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度，研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL-2329液体压缩系数测量方法。将单晶硅球放置于充满DSL-2329液体的密闭容器内，通过改变DSL-2329液体的温度和静压力可以进行液体密度的微量调节，从而实现单晶硅球在液体中的静液悬浮。对于一个单晶硅球而言，可以在不同液体温度和静压力条件下实现静液悬浮，其中温度和静压力满足线性模型，测量出这个线性常数就
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