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随着现代光学技术的发展，全频段误差控制已成为高精度光学零件制造的一个基本要求。基于小磨头抛光原理的先进修形技术虽然能有效修正低频面形误差，但对于中高频段的面形误差难以修正。中高频误差成为了现代光学加工普遍关注的难点。理论研究表明，减小小磨头尺寸可以提高工艺对中高频误差的修正能力，进一步提高光学加工精度。本文针对中高频面形误差的控制问题，开展细小离子束修形工艺研究，研究了获取小柬径离子束的引束机理和引束结构，初步实现了稳定的细小离子束，针对某小型精密光学元件的具体加工问题，仿真研究了不同束径的加工效率和加工