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采用共沉淀法制备SnO2-LiZnVO4系湿敏材料，研究了LiZnVO4的掺杂量对材料湿敏电容的影响。结果表明：LiZnVO4的掺杂量，环境的相对湿度（RH）、测试信号频率对湿敏电容有较大影响。当x（LiZnVO4）为10％时，可使材料具有合适的低湿电容和灵敏度。在100Hz下，当环境的RH从33％上升到93％时，SnO2-LiZnVO4系湿敏材料制备的湿敏元件的电容增量可达起始值的2300％，显示出较高的电容湿度敏感性。湿敏元件的电容响应时间约为54s，恢复时间约为60s。湿滞约为RH6％。