SiGeHBT基区渡越时间研究

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:w_zhou
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对基于SiGeHBT基区本征载流子浓度和电子迁移率依赖于掺杂、基区Ge组分分布和速度饱和效应的基区渡越时间进行了研究。结果表明,相同Ge组分条件下,基区渡越时间τb随WB由100nm减薄到50nm,降低了74.99/6;相同WB,Ge组分为0.15比0.1Ge组分的“减小了33.7%。该研究与其他文献的结果相吻合,可为SiGeHBT基区设计提供一定的理论指导。
其他文献
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