物理气相输运法生长AlN六方微晶柱

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sist_003

【摘要】

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采用物理气相输运法（Physical Vapor Transport, PVT）, 在1700 - 1850°C生长温度下制备出AlN六方微晶柱; 晶柱长度在1 cm左右, 宽度在200 -400 μm, 光学显微镜下观察为六

【作者】

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王华杰刘学超孔海宽忻隽高攀卓世异施尔畏

【机构】

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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院大学

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2017年2期

【关键词】

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III-V族半导体氮化铝(AlN)晶体六方微米柱物理气相输运(PVT) Ⅲ-Ⅴ semiconductors aluminum nitride hex

【基金项目】

：

National High-tech R＆D program of China （863 Program, 2014AA032602）, National Key R＆D program （2016YFB0400400）Shanghai Engineering Research Center of Single Crystal Silicon Carbide

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采用物理气相输运法（Physical Vapor Transport, PVT）, 在1700 - 1850°C生长温度下制备出AlN六方微晶柱; 晶柱长度在1 cm左右, 宽度在200 -400 μm, 光学显微镜下观察为六棱柱形状并呈透明浅黄色光泽; 扫描电子显微镜和原子力显微镜测试表明： AlN晶柱表面为整齐台阶状形貌, 台阶宽度为2- 4 μm, 高度在几个纳米; 拉曼光谱测试AlN晶柱具有良好结晶质量。PVT 法生长AlN六方微晶柱主要是在偏低温度下AlN晶体生长速率较慢, Al原子和

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