基于改进LK光流法的MEMS面内运动分析技术

来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tchrt

【摘要】

：

为获取微机电系统(MEMS)面内运动过程中的动态特征,文中提出了一个MEMS面内运动测量系统.该系统通过FPGA产生相机外触发和频闪光源两路时钟同步驱动脉冲,利用频闪成像的原理对谐振状态下的MEMS器件进行图像采样.对图像序列进行Canny边缘检测后,引入Shi-Tomasi角点和Lucas-Kanade光流追踪的方法进行运动分析,获取器件的幅相信息参数.使用该系统对一个定制的微陀螺仪进行实验测量

【作者】

：

张瑞峰夏涛乐桑梅

【机构】

：

天津大学微电子学院,天津300072;天津大学精密仪器与光电子学院,天津300072

【出处】

：

光电子·激光

【发表日期】

：

2020年08期

【关键词】

：

微机电系统面内运动频闪成像 Canny边缘检测 LK光流

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