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本文给出了超高真空蒸镀的实验条件及其镀层厚度的计算公式和部分实验结果。
亚原子单层膜的蒸镀及厚度计算
【摘 要】
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本文给出了超高真空蒸镀的实验条件及其镀层厚度的计算公式和部分实验结果。
【机 构】
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中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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1991年1期
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