四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响

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对用常压化学气相淀积(APCVD)工艺制备的纯a-Fe2O3薄膜和掺锆(Zr)a-Fe2O3薄膜的气敏特性进行了研究。实验表明掺Zr是改善a-Fe2O3薄膜材料气敏特性的有一种有效途径。
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