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四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响
四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heliuer
【摘 要】
:
对用常压化学气相淀积(APCVD)工艺制备的纯a-Fe2O3薄膜和掺锆(Zr)a-Fe2O3薄膜的气敏特性进行了研究。实验表明掺Zr是改善a-Fe2O3薄膜材料气敏特性的有一种有效途径。
【作 者】
:
柴常春
彭军
镇桂芹
【机 构】
:
西安电子科技大学,西安通信学院
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
掺杂
气敏特性
氧化铁薄膜
锆
?Fe_2O_3 thin films Zr-doping Gas-sensing properties
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对用常压化学气相淀积(APCVD)工艺制备的纯a-Fe2O3薄膜和掺锆(Zr)a-Fe2O3薄膜的气敏特性进行了研究。实验表明掺Zr是改善a-Fe2O3薄膜材料气敏特性的有一种有效途径。
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