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为了分析集束装备的性能,采用随机Petri网建模方法描述装备串行加工过程.采用自底向上方式,首先建立集束装备各组成模块的基本模型,然后根据实际的加工过程构造出整个装备的随机Petri网模型.给出了模型的马尔可夫链分析过程,进一步推导出装备的吞吐率和加工腔体的利用率.结果表明,该模型不仅可以表现集束装备的并发性,而且能表示出设备操作时间的随机性.该方法能够有效地描述和分析集束装备的加工过程.