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研究了不同的沉积电压对辅助加热式ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层的影响。实验证明，提高沉积电压可以细化ＴｉＮ涂层的柱状晶结构，增加ＴｉＮ涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内，涂层内残存的氯含量基本不受沉积电压的影响。
沉积电压对辅助加热PCVD—TiN涂层的影响
【摘 要】
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研究了不同的沉积电压对辅助加热式ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层的影响。实验证明，提高沉积电压可以细化ＴｉＮ涂层的柱状晶结构，增加ＴｉＮ涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内，涂层内残存的氯含量基本不受沉积
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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青岛化工学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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山东省自然科学基金项目 !(F110 93)
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