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具有高结合强度的铝基片SiOx陶瓷膜层CVD制备
具有高结合强度的铝基片SiOx陶瓷膜层CVD制备
来源 :金属热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nikaixinma
【摘 要】
:
采用常压CVD方法在铝合金基底上制备出硅氧化合物陶瓷膜层.使用SEM、TEM及XPS仪分析了膜层形貌、成分和组织结构,通过180°、90°弯曲实验和450 ℃热冲击实验考察了
【作 者】
:
刘涛
郦剑
沈复初
王幼文
【机 构】
:
浙江大学材料与化工学院,浙江大学测试中心
【出 处】
:
金属热处理学报
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
化学气相沉积
CVD
SiOx膜层
结合强度
chemical vapor deposition (CVD)
SiOx film
adhesion
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采用常压CVD方法在铝合金基底上制备出硅氧化合物陶瓷膜层.使用SEM、TEM及XPS仪分析了膜层形貌、成分和组织结构,通过180°、90°弯曲实验和450 ℃热冲击实验考察了陶瓷膜层与基片的结合性能,证实该技术制备的膜层与基底的结合强度很高.
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