【摘 要】
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结合矩形光学谐振腔的横向等倾干涉原理和F-P干涉技术,设计改进了一种新型的二维微位移光学传感器系统.该系统使用最新的CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Tran
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结合矩形光学谐振腔的横向等倾干涉原理和F-P干涉技术,设计改进了一种新型的二维微位移光学传感器系统.该系统使用最新的CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Transistor)图像传感器芯片代替传统的电耦合器件(CCD)实现光电转换,经过1块现场可编程门阵列(FPGA)芯片处理电信号,再将数据传输给计算机以实现实时显示,该位移传感系统的测量精度可达0.1~1μm微米级,在实现功能优化的同时降低了成本,可应用于光学与工业器件的精密加工、大型工程与建筑物的微位移的实时监控.
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