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Al2O3薄膜有着极其优良的光学、物理化学等性质,极大地引起了科研人员的研究兴趣.本文简述了Al2O3薄膜性能、应用领域以及制备方法等.我们以纯铝靶材,采用射频磁控反应溅射法制备出了Al2O3薄膜,并通过扫描电镜对薄膜表面形貌进行了观察.
Al2O3薄膜制备及性能研究
【摘 要】
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Al2O3薄膜有着极其优良的光学、物理化学等性质,极大地引起了科研人员的研究兴趣.本文简述了Al2O3薄膜性能、应用领域以及制备方法等.我们以纯铝靶材,采用射频磁控反应溅射法
【机 构】
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南京邮电大学,江苏南京,210046
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2018年19期
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