射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:elfer_hfut
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制备了SnO2:Sb(6%,摩尔分数)靶材和一系列不同摩尔比的CeO2-TiO2靶材:以所制靶材用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上沉积了CeO2—TiO2单层和CeO2—TiO2/SnO2:Sb双层薄膜。用紫外-可见光谱、Raman光谱、X射线光电子能谱和X射线衍射对CeO2-TiO2薄膜进行了表征。结果表明:在CeO2/TiO2摩尔比为0.5:0.5和0.6:0.4时沉积得到的CeO2-TiO2薄膜为非晶态结构,并具有高的紫外吸收(平均值〉99%)和高的可见光透过率(平均值〉80%)。在CeO2-TiO2
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