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集成电路制造的生产工艺对设备和环境要求极高。文章将设备综合效率(OEE)理论运用到集成电路测试设备管理中,通过对OEE各项指标的分析与改善,实现设备产能的提升。
设备综合效率在半导体测试设备管理中的应用研究
【摘 要】
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集成电路制造的生产工艺对设备和环境要求极高。文章将设备综合效率(OEE)理论运用到集成电路测试设备管理中,通过对OEE各项指标的分析与改善,实现设备产能的提升。
【机 构】
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中芯国际集成电路制造上海有限公司
【出 处】
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中国高新技术企业
【发表日期】
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2014年15期
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