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采用子孔径波面的合成方法实现了大口径光学系统波面的检测.将被测区域划分成有限个子孔径,利用塔尔博特效应产生的莫阿条纹平移测量每一子孔径上波面斜率,根据所有所测量的子孔径上波面的斜率拟合出被测波面.检测了口径为500 mm,焦距为13 m的大口径光学系统的波面.
利用合成方法检测波面
【摘 要】
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采用子孔径波面的合成方法实现了大口径光学系统波面的检测.将被测区域划分成有限个子孔径,利用塔尔博特效应产生的莫阿条纹平移测量每一子孔径上波面斜率,根据所有所测量的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2002年6期
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