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在硬质合金上化学气相沉积金刚石膜
在硬质合金上化学气相沉积金刚石膜
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xong916
【摘 要】
:
含碳化物的硬质合金材料,是一种有用的刀具和耐磨材料。用热灯丝化学气相沉积的方法,在其上沉积金刚石薄膜,可进一步提高其耐磨性、切削性和使用寿命。采用了不同的表面预处
【作 者】
:
孙亦宁
郭晚土
恽辉中
【机 构】
:
兰州物理研究所,兰州物理研究所730000,730000
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
1990年4期
【关键词】
:
金刚石
薄膜
化学气相沉积
合金
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含碳化物的硬质合金材料,是一种有用的刀具和耐磨材料。用热灯丝化学气相沉积的方法,在其上沉积金刚石薄膜,可进一步提高其耐磨性、切削性和使用寿命。采用了不同的表面预处理方法和沉积参数,在硬质合金底材上沉积出了均匀的金刚石薄膜。初步检验证明其样品有很高的硬度和附着力。
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