论文部分内容阅读
北方微电子rn北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司是为承担国家“十五”863重大专项--“100nm高密度等离子刻蚀机”于2001年10月专门注册成立的,由北京电子控股有限责任公司、北京七星华电科技集团、中科院、清华大学、北京大学等股东联合组建.七年多来,北方微电子已由一支不足十人的初创团队,成长为近200名员工组成的、具有持续创新能力的、适应市场化模式运作的高技术企业.