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MEMS中的热密度高于80w／cm^2，发热问题已严重影响着其可靠性。文中从微小结构液体冷却热交换设计理论分析和试验着手，研究高热密度情况下的MEMS散热设计。宏观下的流体力学和传热学在微尺度中存在尺度效应。由于微结构中流体表面张力的影响，使流体流动状态由层流变成紊流的重要参数雷诺数Re约为900～1100时，流动状态将发生变化。基于目前MEMS微体加工的可能，文中给出了三种在MEMS中使用的液体冷却微热交换器的设计，经计算机仿真，该热交换器有较大的使用价值。