蓝宝石衬底上石墨烯的制备研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huangtongfeng

【摘要】

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开展了化学气相沉积(CVD)法在蓝宝石衬底上直接生长石墨烯的制备研究和模拟研究,研究衬底表面形貌和生长温度对石墨烯的影响。运用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、场发

【作者】

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邹伟李多生洪跃叶寅林奎鑫熊财梓

【机构】

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南昌航空大学材料科学与工程学院

【出处】

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功能材料

【发表日期】

：

2019年6期

【关键词】

：

化学气相沉积石墨烯蓝宝石刻蚀 chemical vapor deposition graphene sapphire etching

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(51562027),江西省省级优势科技创新团队资助项目(20181BCB24007),江西省教育厅科技资助项目(GJJ170586),江苏省精密与微细制造技术重点实验室基金资助项目(JKL2015001).

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开展了化学气相沉积(CVD)法在蓝宝石衬底上直接生长石墨烯的制备研究和模拟研究,研究衬底表面形貌和生长温度对石墨烯的影响。运用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、拉曼光谱(Raman)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)等对石墨烯生长开展了微结构研究。模拟研究发现,氢气对衬底表面形貌具有重要影响,在H原子的作用下Al—O键被拉长了51.42%,近乎断裂,因而对蓝宝石衬底的表面粗糙度产生影响。实验发现H2对蓝宝石衬底有刻蚀作用,刻蚀后的蓝宝石衬底表面粗糙度Ra变

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