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微机电系统(Micro Electro Mechanical Sys-terns.简称MEM，是通过微制造技术将机械单元、传感器、执行器件和电子元件整合到一片微基板的系统装置.这种新兴的机电系统为传统机械科学的发展指明一个重要的前进方向.概述了微机电系统(MEMS)的发展历史及基本技术原理,介绍了MEMS技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望。