【摘 要】
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本文对经反溅射处理的Al片,进行SEM7剖面观察,发现了反溅射的再淀积现象,对再淀积现象做了对比实验,分析了再淀积的影响因素及其对电路的失效影响。
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本文对经反溅射处理的Al片,进行SEM7剖面观察,发现了反溅射的再淀积现象,对再淀积现象做了对比实验,分析了再淀积的影响因素及其对电路的失效影响。
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