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超深亚微米(VDSM)工艺下,集成电路的高频、高集成度趋势使互连线间电磁耦合作用不容忽略.首先回顾了典型电感提取方法及实际应用中电感阵稀疏化、模型降阶等问题;基于互连线分布RLC模型,对一类电源树的同步切换噪声问题作了分析;并介绍了RL梯状电路、有效电容法等实用电感效应处理措施.一些仿真实例表明,未来高频集成电路中电感效应可严重影响部分关键互连线网性能,将成为信号完整性的重要制约因素.