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讨论了将成为21世纪电子制造领域的核心科学与技术的纳电子封装的基本概念以及由其产生的驱动力.阐述了纳电子封装的研究内容和纳电子封装的现状及发展趋势.
纳电子封装
【摘 要】
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讨论了将成为21世纪电子制造领域的核心科学与技术的纳电子封装的基本概念以及由其产生的驱动力.阐述了纳电子封装的研究内容和纳电子封装的现状及发展趋势.
【机 构】
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华中科技大学材料学院,华中科技大学材料学院,华中科技大学微系统中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年8期
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