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期刊论文
SU-8 5光刻胶的应用工艺研究
SU-8 5光刻胶的应用工艺研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zingerler
【摘 要】
:
SU-8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶,它具有良好的光敏性和高深宽比,适合于微机电系统,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2].介绍了利用SU-8 5光刻胶,采用UV曝光制备LIGA掩
【作 者】
:
朱军
赵小林
倪智萍
【机 构】
:
上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
微机电系统
高深宽比
SU-8系列光刻胶
UV-LIGA
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SU-8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶,它具有良好的光敏性和高深宽比,适合于微机电系统,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2].介绍了利用SU-8 5光刻胶,采用UV曝光制备LIGA掩模板所涉及的SU-8 5工艺研究结果.
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