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本文叙述了电沉积制备ＧａＡｓ薄膜的原理，我们在不同的基片上均成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。初步探讨了ＧａＡｓ薄膜的电沉积机理。
GaAs薄膜电沉积机理的初探
【摘 要】
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本文叙述了电沉积制备ＧａＡｓ薄膜的原理，我们在不同的基片上均成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。初步探讨了ＧａＡｓ薄膜的电沉积机理。
【机 构】
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哈尔滨工业大学,150001
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年5期
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