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本文介绍了利用CCD 固体摄象传感器和386微机动态测量 F—P 多光束干涉条纹的方法,介绍了实现动态检测的原理和软件设计思想,利用此原理,提出了一种微小位移的高精度动态测量方法,采用无畸变摄象物镜和精密伺服系统,相应微小位移的测试精度可达3nm—6nm(约λ/100的数量级)。
动态干涉条纹的图象检测
【摘 要】
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本文介绍了利用CCD 固体摄象传感器和386微机动态测量 F—P 多光束干涉条纹的方法,介绍了实现动态检测的原理和软件设计思想,利用此原理,提出了一种微小位移的高精度动态测量
【机 构】
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中国计量学院光学热工计量系,中国计量学院光学热工计量系92届光学计量专业毕业生
【出 处】
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中国计量学院学报
【发表日期】
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1992年2期
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