散射法表面粗糙度测量的数学模型分析

来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shenglove5
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对材料的表面粗糙度进行测量时,往往要求采用在线非接触方式。散射法能较好地满足该要求。本文以beckm ann的光散射模型为理论基础,分析建立了散射法表面粗糙度测量的数学模型,并进一步简化了该模型,为应用散射法测量提供了数学依据。
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