【摘 要】
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1.前言基于电容原理的压力传感器,特别适用于几个英寸水柱的微小压差测量。为了把热效应降到最低限,而把稳定性提高到最大限度,不采用玻璃—硅夹层式的结构,而采用全硅结构
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1.前言基于电容原理的压力传感器,特别适用于几个英寸水柱的微小压差测量。为了把热效应降到最低限,而把稳定性提高到最大限度,不采用玻璃—硅夹层式的结构,而采用全硅结构。本文采用的方法是与 CMOS 信号处理电路
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