微光机电系统（MOEMS）的研究现状及展望

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lwgalj2005

【摘要】

：

微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开

【作者】

：

陈非凡殷玲李云龙

【机构】

：

清华大学精密仪器及机械学系

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

研究现状微光机电系统 MOEMS 微机电系统 MEMS 微机械加工技术发展趋势 MOEMS MEMS micromachining technology

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微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状,阐述了MOEMS的基本特征,列举了一些典型的MOEMS系统,并分析了MOEMS技术的发展趋势.

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