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通过实地调研，结合工程经验，采用比较分析的方法，就芯片生产废水中典型的含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理分别给出了较优的处理工艺流程，即浓氨吹脱-两段沉淀-三级酸碱中和处理工艺，其处理效果较好，将含氟废水与CMP研磨废水混合处理可节省投资。同时，介绍了设备选型中应注意的问题。
芯片生产废水处理技术探讨
【摘 要】
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通过实地调研，结合工程经验，采用比较分析的方法，就芯片生产废水中典型的含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理分别给出了较优的处理工艺流程，即浓氨吹脱-两段沉淀-三级
【机 构】
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上海市环境科学研究院
【出 处】
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给水排水
【发表日期】
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2006年7期
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