【摘 要】
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采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺Sr^2＋的α-BBO（001）衬底上进行了生长β-BBO薄膜的实验，生长出表面光滑、无色透明的薄膜。采用X射线粉末衍射（XRD）、高分辨X射线衍
【机 构】
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同济大学材料科学与工程学院,中国科学院上海光学精密机械研究所
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采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺Sr^2＋的α-BBO（001）衬底上进行了生长β-BBO薄膜的实验，生长出表面光滑、无色透明的薄膜。采用X射线粉末衍射（XRD）、高分辨X射线衍射仪（XRC）对薄膜进行分析测试，结果表明，所制备的β-BBO薄膜择优取向为（001）面，薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000＂左方无显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量，其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190nm，但薄膜的透过率略有下降。采用调Q脉冲Nd：YAG激光器观察了β-BBO薄膜的倍频效应。
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