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简要地介绍了AiM监测器的原理及应用效果,该系统可以对沉积于SiO2表面的空气分子沾污AMC进行实时监测,所获得的数据对于了解洁净室内的工艺过程与产生AMC间的相互关系特别有用.通过监测吸附物总量的长期变化趋势,可以确定洁净室内环境沾污的基本值,以便有利于对新污染源的早期确认.
空气中分子沾污(AMC)的实时监测
【摘 要】
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简要地介绍了AiM监测器的原理及应用效果,该系统可以对沉积于SiO2表面的空气分子沾污AMC进行实时监测,所获得的数据对于了解洁净室内的工艺过程与产生AMC间的相互关系特别有
【机 构】
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美国颗粒测量系统公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2004年2期
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